Методом импульсного лазерного испарения получены сегнетоэлектрические тонкие пленки Ва_0,7Sr_0,3ТiO₃ на кремниевых подложках.

Дата публикации: 12/05/2010
Категория: Новости лазерных технологий
Версия для печати

Методом импульсного лазерного испарения с использованием Nd:YАG лазера, работающего в режиме свободной генерации, получены сегнетоэлектрические тонкие пленки Ва_0,7Sr_0,3ТiO₃ на кремниевых подложках при температурах 200 и 450°С. В.Л.Романюк, В.Ф.Гременок, В.С.Меркулов, В.Р.Соболь, И.С.Ташлыков (ГО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению, БГАТУ, БГПУ – г. Минск) исследовали влияние температуры подложки и времени напыления на структуру, фазовый состав и топографию поверхности пленок.
При устойчивой тенденции последних лет по усиленному развитию нанотехнологий и, как следствие, миниатюризации приборов и оборудования, повышенную актуальность приобрели разработка технологий и производство тонко-пленочных многокомпонентных материалов и приборов на их основе. Тонкие пленки Ва_1-хSr_хТiO₃ (ВSТ) обладают большой диэлектрической проницаемостью и малыми диэлектрическими потерями на частотах до 60 Гц, поэтому ВSТ-пленки являются перспективным материалом для изготовления ячеек динамических оперативных запоминающих устройств, перестраиваемых микроволновых и тепловизионных приборов.
Метод формирования пленок, пригодный для широкомасштабного применения, должен удовлетворять экономическим и экологическим критериям и обеспечивать высокое структурное качество материала.
В данной работе методом импульсного лазерного напыления получены поликристаллические пленки Ва_0,7Sr_0,3ТiO₃ на кремниевой подложке.
Показано, что данный метод позволяет получать пленки с кристаллической структурой при низких (200°С) температурах подложки.
Морфология поверхности пленки зависит от температуры подложки, при увеличении температуры от 200 до 450°С размер кристаллитов возрастает от 0,49 до 0,6 мкм, а среднеквадратичная шероховатость снижается от 21,9 до 9,3 нм.

Источник: «Физика и химия обработки материалов», 2009, № 5, с.37-40, www.chem.msu.su

Статьи по теме: