Исследована аргонно-лучевая пассивирующая обработка металлов и возможность её применения для литографии.

Дата публикации: 06/04/2011
Категория: Новости лазерных технологий
Версия для печати

Перинской И.В. (Саратовский гос.техн.университет) проанализированы особенности и предложены рекомендации по использованию электротехнологической пассивирующей аргоно-лучевой модификации металлов, применяемой в электронике, для защиты от внешних химических воздействий, реализации вариантов безрезистной ионной и ионно-электронной литографии.

Источник: РЖ «СВАРКА» ВИНИТИ: 10.11-63.154; 2010, № 11, с.14 / Вестник СГТУ.- 2010, №2, с.98-100.

Статьи по теме: