Представлены результаты создания элементов малоразмерной рентгеновской оптики.

Дата публикации: 12/05/2011
Категория: Новости лазерных технологий
Версия для печати

Кинематическая обработка эллиптического цилиндра осуществляется методом полирования малоразмерным инструментом. Предлагаемая система может быть адаптирована к изготовлению фасеточных объективов.
Быстрое развитие приборостроения ультрафиолетового и рентгеновского диапазонов выдвигает все более высокие требования к качеству используемых оптических компонентов. Одной из возможных технологий получения изделий с точностью формы около 50 нм может служить технология полирования малоразмерным инструментом.
Принципиально данная технология для производства оптических деталей появилась довольно давно и достаточно хорошо разработана.
В частности, имеется отечественное оборудование (станки серии АД проекта и выпуска 70-х годов XX века), которое до сих пор успешно используют на отечественных предприятиях. За рубежом подобное оборудование постоянно совершенствуется, и в Европе, и в Азии выпускают его широкую номенклатуру как под собственно технологию полирования малоразмерным инструментом, так и под смежные технологии.
Однако стоимость такого оборудования весьма значительна, и бюджет даже успешной неболышой западной компании не всегда может позволить ей такое приобретение. Особенно это касается случаев, когда требуются какие-либо доработки оборудования и программного обеспечения. В то же время как создание самого оборудования, необходимого для реализации технологии полирования малоразмерным инструментом, так и набор контрольно-измерительной техники и вспомогательного оснащения вполне доступны по цене.
И даже могут выпускаться небольшими компаниями при не слишком больших затратах.
В данной работе И. Савельева (ООО «Прецизионные технологии», СПб) сделана попытка показать реальные возможности создания высокотехнологичного центра наноразмерной обработки весьма ограниченными силами, которые соответствуют уровню очень небольшого предприятия с ограниченными ресурсами. Основные затраты были направлены на обеспечение климат-контроля.
Предлагаемая работа изначально была нацелена на разработку технологии производства компонентов рентгеновской оптики. В связи с этим и создавалась описанная специализированная система.

Источник: «Фотоника», 2011, №1, с.20-23 / www.photonics.su

Статьи по теме: